艾特环保-超纯水制备-超滤反渗透设备

2026.07.22

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作者：李思远

超纯水（UPW，电阻率≥18.25 MΩ・cm @25℃）主流分为预处理→一级反渗透→EDI / 混床→抛光精处理四大阶段，根据进水水质、用水等级（电子半导体 / 实验室 / 制药）调整配置。

一、基础水质分级参考

自来水 → 原水
预处理产水：去除悬浮物、胶体、余氯、硬度
RO 产水（纯水）：电阻率 1～5 MΩ・cm
EDI 产水：10～17 MΩ・cm
抛光超纯水：≥18.2 MΩ・cm

二、标准完整工艺流程（电子级超纯水最常用）

原水 → 原水箱 → 原水泵 → 多介质过滤器 → 活性炭过滤器 → 保安过滤器 (5μm)

→ 一级高压泵 → 一级反渗透（RO）

→ RO 产水箱 → 二级高压泵 → 二级反渗透（二级 RO）

→ 中间水箱 → 增压泵 → EDI 连续电除盐

→ EDI 产水箱 → 增压泵 → 抛光混床（TOC 脱除器）

→ 超滤终端过滤器 (0.05/0.1μm) → 超纯水用水点

简易实验室路线（水量小）：原水→预处理→一级 RO→EDI→抛光混床

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